633 nm熱穩(wěn)頻He-Ne激光真空波長(zhǎng)校準(zhǔn)研究

摘要： 633 nm熱穩(wěn)頻He-Ne激光是激光干涉測(cè)量技術(shù)中應(yīng)用最廣泛的波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)光源。633 nm激光波長(zhǎng)是幾何量計(jì)量中最重要的溯源路徑。該文分析了633 nm熱穩(wěn)頻He-Ne激光的頻率特性，并以此為依據(jù)詳細(xì)探討了633 nm熱穩(wěn)頻He-Ne激光器真空波長(zhǎng)的校準(zhǔn)內(nèi)容和校準(zhǔn)方法。在激光平均波長(zhǎng)測(cè)量和波長(zhǎng)不確定度評(píng)定中均考慮了波長(zhǎng)復(fù)現(xiàn)性產(chǎn)生的影響，給出了校準(zhǔn)數(shù)據(jù)處理方法和不確定度評(píng)定示例。...