三維橋式放大機構(gòu)的柔性微定位平臺的研究與改進

摘要： 在微定位平臺的設(shè)計中，引入能夠產(chǎn)生高位移放大倍數(shù)的三維橋式放大機構(gòu)，并在此基礎(chǔ)上引入了能夠有效減少輸出端寄生位移的四桿對稱式導向機構(gòu)，從而使所設(shè)計的微定位平臺能夠充分結(jié)合二者優(yōu)勢。根據(jù)應(yīng)變能理論、卡氏第二定理、拉格朗日定理，建立該微定位平臺的靜動態(tài)數(shù)學模型，理論分析了平臺關(guān)鍵尺寸對平臺位移放大倍數(shù)的影響；并通過計算獲得了最優(yōu)參數(shù)下的放大倍數(shù)和固有頻率，其值分別為19.90和19...