柔性超導(dǎo)電路制備工藝技術(shù)研究

摘要： 超導(dǎo)轉(zhuǎn)變邊沿探測器是坎德拉單位量子化復(fù)現(xiàn)和單能X射線量子計(jì)量的核心器件。大規(guī)模超導(dǎo)轉(zhuǎn)變邊沿探測器陣列探頭的信號讀出需利用柔性超導(dǎo)電路將信號傳輸至探頭側(cè)面的超導(dǎo)量子干涉器件。柔性超導(dǎo)電路是將超導(dǎo)信號線制備在柔性聚酰亞胺襯底上以實(shí)現(xiàn)信號低熱導(dǎo)率、無阻傳輸。以硅片作為臨時(shí)支撐，電子束蒸發(fā)100 nm Cr膜作為剝離犧牲層。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后，通過紫外曝光、濺射薄膜沉積...