基于不同加工工藝的微孔節(jié)流空氣靜壓軸承的特性研究

摘要： 隨著超精密加工技術(shù)和地面微低重力仿真的發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)業(yè)對空氣靜壓軸承的性能要求越來越高。由于傳統(tǒng)的孔式節(jié)流器其結(jié)構(gòu)特點不能完全滿足實際使用的需要，節(jié)流孔直徑與氣膜間隙同一數(shù)量級的微孔節(jié)流空氣靜壓軸承因其良好的剛度和承載特性，越來越受到關(guān)注。但在微孔節(jié)流器的發(fā)展過程中，微孔的加工工藝卻限制了其推廣應(yīng)用。針對目前常用的三類微孔加工工藝，進(jìn)行了理論仿真研究，通過建立不同加工工藝軸承仿真...