Zr、Cr摻雜對(duì)銅互連薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響

摘要： 研究了Zr和Cr元素?fù)诫s對(duì)Cu互連薄膜的結(jié)構(gòu)及性能的影響。利用直流磁控濺射技術(shù)在SiO₂/Si襯底上沉積了Cu、Cu(Zr)、Cu(Cr)、Cu(ZrCr)4種薄膜，并在溫度400～800℃下對(duì)薄膜真空退火1h。通過(guò)SEM、XRD和四探針?lè)▽?duì)不同薄膜的表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)與電學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試分析。結(jié)果表明，Zr或Cr單元素?fù)诫s均能在一定程度上提高Cu互連薄膜的熱穩(wěn)定性。Zr或Cr...