DLC基納米多層膜摩擦學性能的研究進展與展望

摘要： 類金剛石（DLC）薄膜是一種良好的固體潤滑劑，能夠有效延長機械零件、工具的使用壽命。DLC基納米多層薄膜的設計是耐磨薄膜領(lǐng)域的一項研究熱點，薄膜中不同組分層具備不同的物理化學性能組合，能從多個角度（如高溫、硬度、潤滑）進行設計來提升薄膜力學性能、摩擦學性能以及耐腐蝕性能等。綜述了DLC多層薄膜的設計目的與研究進展，以金屬/DLC基納米多層膜、金屬氮化物/DLC基納米多層膜、金屬...