異質(zhì)a-C:H/a-C:H:F配副的摩擦學(xué)行為研究
表面技術(shù)
頁數(shù): 9 2024-04-10
摘要: 目的 研究F元素?fù)诫s非晶碳基薄膜與a-C:H薄膜摩擦配副的摩擦學(xué)行為機(jī)制。方法 利用PECVD法在Si基底上制備a-C:H:F薄膜,與直徑為6.0 mm的a-C:H薄膜摩擦對偶球組成摩擦配副體系,使用往復(fù)模式的CSM TRB 3摩擦機(jī)研究a-C:H:F薄膜的摩擦學(xué)特性,頻率為5 Hz,滑動總次數(shù)為9 000,外加載荷分別為2、4、6、8、10N。通過納米硬度、X射線光電子能譜、...