超冷離子源研究進展

摘要： 納米離子束是制備束斑直徑在微納米尺度荷能離子束的先進技術(shù),主要應(yīng)用于高分辨和高精度的離子束分析、離子束加工和離子束材料改性研究,在材料分析、微納加工、微電子器件制造和量子計算等方面發(fā)揮著重要的作用.高品質(zhì)離子源作為納米離子束裝置的關(guān)鍵部件,其性能指標(biāo)直接決定著該裝置的技術(shù)水平.然而,目前常用的傳統(tǒng)離子源存在離子種類單一、能散高和結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題,已經(jīng)難以滿足新應(yīng)用場景下的多離子種...