磁場(chǎng)輔助激光生長(zhǎng)類金剛石膜的微結(jié)構(gòu)及光學(xué)性能

摘要： 在脈沖激光沉積技術(shù)中引入非均勻磁場(chǎng),探索磁場(chǎng)約束激光等離子體條件下生長(zhǎng)類金剛石膜的特性,為進(jìn)一步提高類金剛石膜中sp~3鍵含量、增強(qiáng)微結(jié)構(gòu)調(diào)控提供理論和實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ).計(jì)算了磁場(chǎng)的磁感應(yīng)強(qiáng)度及其磁力線分布,仿真了碳離子在磁場(chǎng)約束下的飛行軌跡,顯示出磁場(chǎng)限制了碳離子的自由膨脹,使其螺旋前進(jìn)并向永磁體中心區(qū)域聚集.膜層表面干涉和橢偏測(cè)量的擬合參數(shù)顯示,磁場(chǎng)的磁感應(yīng)強(qiáng)度越高,激光生長(zhǎng)類金剛...