質(zhì)子輻照對CMOS圖像傳感器傳輸柵損傷效應(yīng)的實驗與分析

摘要： 互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器（CIS）是一種當(dāng)前應(yīng)用非常廣泛的光電圖像傳感器，其應(yīng)用在空間輻射環(huán)境中時遭受的質(zhì)子輻照損傷問題一直備受關(guān)注。為了分析CIS內(nèi)部重要結(jié)構(gòu)受輻射損傷影響及輻照損失機理，開展了關(guān)于CIS傳輸柵的質(zhì)子輻照實驗，通過測試輻照前后轉(zhuǎn)移特性曲線并提取閾值電壓和飽和輸出電流，總結(jié)CIS傳輸柵的輻照損傷實驗規(guī)律。對常溫下經(jīng)過輻照后的CIS開展了退火測試，分析相關(guān)特...