用于迷你無人飛行器探測(cè)的硅基MEMS輪形振膜光纖聲傳感器研制
光學(xué)學(xué)報(bào)
頁數(shù): 11 2024-04-10
摘要: 針對(duì)迷你無人飛行器(mini-UAV)探測(cè)難度大的問題,仿真設(shè)計(jì)并制作了諧振頻率接近mini-UAV噪聲特征頻率的硅基微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)輪形振膜,結(jié)合精密機(jī)械加工制作了光纖法布里-珀羅干涉式聲傳感器。測(cè)試結(jié)果表明,該光纖聲傳感器的諧振頻率為7.279 kHz,與仿真結(jié)果基本一致,其在頻率為7 kHz聲波正入射的條件下的靈敏度為1.8 V/Pa,信噪比為71 dB,最小可探測(cè)...