TiZrNbTaMo高熵合金表面化學(xué)氣相沉積制備多晶金剛石膜
中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 10 2023-03-22
摘要: 本文以親碳元素組成的TiZrNbTaMo高熵合金作為基材,通過(guò)化學(xué)氣相沉積的方法在其表面沉積金剛石膜。結(jié)果表明:金剛石能夠在TiZrNbTaMo高熵合金表面快速形核,形核密度高達(dá)7.53×10~9 cm
-2,且在30 min內(nèi)形成連續(xù)的金剛石膜;金剛石在TiZrNbTaMo高熵合金表面的形核密度及生長(zhǎng)速率遠(yuǎn)高于在組成高熵合金的單質(zhì)金屬表面的形核密度及生長(zhǎng)速率。這是由于在金...