基于模態(tài)分析和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的分子泵故障檢測(cè)方法研究

摘要： 分子泵一種基于氣體分子定向運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生真空環(huán)境的裝置，在空間環(huán)境模擬等試驗(yàn)中至關(guān)重要，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)精密而復(fù)雜，長(zhǎng)期使用后可能會(huì)產(chǎn)生真空度不足等故障，如何及時(shí)準(zhǔn)確地診斷分子泵的運(yùn)行狀態(tài)格外關(guān)鍵。文章提出了一種基于模態(tài)分析的降噪技術(shù)，并采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)采集到的信號(hào)數(shù)據(jù)進(jìn)行故障診斷與識(shí)別。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該方法的平均診斷準(zhǔn)確率達(dá)到了90.0%，有效地實(shí)現(xiàn)了分子泵的故障檢測(cè)和狀態(tài)評(píng)估。