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雙通道放氣率測量裝置器壁放氣動態(tài)特性分析與碳化硼放氣率測試

真空科學與技術學報 頁數: 6 2024-03-26
摘要: 雙通道法是一種高精度、低檢測下限的材料放氣率測量方法,適用于碳化硼等低放氣率材料。該方法需要先測定測量系統(tǒng)的本底放氣量,即在系統(tǒng)壓力穩(wěn)定后,選取某一時刻的壓力值計算后作為本底放氣量。針對裝置本底放氣量測量,文章基于吸附擴散理論,建立了雙通道測量系統(tǒng)的吸附-擴散-解離模型,并進行了數值計算分析,研究了系統(tǒng)本底壓力隨溫度的變化規(guī)律,計算結果與實驗結果吻合良好。同時,文章對含B4C樣...

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