雙通道放氣率測量裝置器壁放氣動態(tài)特性分析與碳化硼放氣率測試

摘要： 雙通道法是一種高精度、低檢測下限的材料放氣率測量方法，適用于碳化硼等低放氣率材料。該方法需要先測定測量系統(tǒng)的本底放氣量，即在系統(tǒng)壓力穩(wěn)定后，選取某一時刻的壓力值計算后作為本底放氣量。針對裝置本底放氣量測量，文章基于吸附擴散理論，建立了雙通道測量系統(tǒng)的吸附-擴散-解離模型，并進行了數值計算分析，研究了系統(tǒng)本底壓力隨溫度的變化規(guī)律，計算結果與實驗結果吻合良好。同時，文章對含B4C樣...