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滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體熱流逸效應(yīng)及流動特性

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 8 2024-03-20
摘要： 努森壓縮機(jī)是一種有效的非機(jī)械式氣體升壓微泵，在輸送氣體、壓縮氣體等方面具有巨大的應(yīng)用潛力。基于具有滑移和跳躍邊界條件的納維-斯托克斯方程，建立適應(yīng)于滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體流動二維數(shù)值模型。分析了傾角和冷熱腔室溫差對微通道內(nèi)部氣體克努森數(shù)分布、壓升以及流動特性的影響規(guī)律。結(jié)果表明：微通道傾角從0°升高到5.72°，壓升從129.181 Pa降低到48.291 Pa，降低了62...

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