標(biāo)準(zhǔn)真空電饋通微型磁控管真空計(jì)及其性能研究
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 7 2024-04-16
摘要： 目前冷陰極電離真空計(jì)在微型真空系統(tǒng)中的應(yīng)用較少，文章對(duì)一種磁控管真空計(jì)（MMG）進(jìn)行研究，成功達(dá)到了微小尺寸與高真空測(cè)量水平同時(shí)滿足的目標(biāo)，該MMG體積僅有0.3 cm~3，比目前市售的磁控管真空計(jì)小30倍以上，同時(shí)由于其連接器設(shè)計(jì)使其能夠與標(biāo)準(zhǔn)真空電饋通相適配。用COMSOL模擬了磁控管真空計(jì)內(nèi)部電磁場(chǎng)分布與電子運(yùn)動(dòng)軌跡，實(shí)驗(yàn)測(cè)試得到了MMG在-500～-2500 V電壓下1...
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