基于碳納米管電子源的高穩(wěn)定電離真空計的性能研究(英文)
真空科學與技術(shù)學報
頁數(shù): 6 2024-04-07
摘要: 文章將碳納米管電子源應用于高穩(wěn)定電離真空計,通過結(jié)構(gòu)和電參數(shù)優(yōu)化,研制了樣機,并開展了樣機計量特性的實驗研究,研究結(jié)果表明,新型電離規(guī)在6.87×10
-6 Pa~6.45×10
-5 Pa的壓力范圍內(nèi),靈敏度在0.200 Pa
-1~0.245 Pa
-1的范圍內(nèi)波動,與仿真靈敏度0.250 Pa
-1的偏差最大為20%,靈敏度波動小于5.96%,證明該結(jié)...