電子致放氣測(cè)試裝置的研究

摘要： 材料表面吸附的氣體分子在電子轟擊作用下，會(huì)加速釋放到真空系統(tǒng)中。為了測(cè)試在電子轟擊下的材料放氣特性，研制了一套電子致放氣的測(cè)試裝置。電子束發(fā)生器作為重要的組成部件，具有許多可調(diào)參數(shù)，這些參數(shù)會(huì)在一定程度上影響輸出的電子束質(zhì)量，進(jìn)而影響電子致放氣測(cè)試結(jié)果。文章首先通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量了電子束斑和束流的影響因素，結(jié)果表明，聚焦電壓和柵極電壓對(duì)束斑的尺寸有直接的影響，而能量電壓對(duì)電子束斑直徑...