在PMMA上低溫沉積TiO₂薄膜的光學(xué)性能及顯微結(jié)構(gòu)

摘要： 采用直流脈沖磁控濺射的方法，在有機(jī)玻璃（聚甲基丙烯酸甲酯，PMMA）上沉積了TiO₂薄膜。研究了氧氣比例、真空度等參數(shù)對(duì)TiO₂薄膜的結(jié)構(gòu)及光學(xué)性能的影響。借助橢圓偏振光測(cè)試儀、X射線衍射（XRD）儀、分光光度計(jì)、原子力顯微鏡（AFM）等表征手段，分析了薄膜的光學(xué)特性、元素組成、結(jié)晶性能、及顯微結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明，隨氧氣比例的增加，薄膜的沉積速率降低，沉積的薄膜的粒徑變大，薄膜...