多負(fù)載環(huán)境下微加速度計(jì)的可靠性建模與分析

摘要： 針對多負(fù)載環(huán)境下微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)微加速度計(jì)易出現(xiàn)的敏感結(jié)構(gòu)斷裂及材料疲勞退化問題，提出了一種基于全概率理論的微加速度計(jì)可靠度預(yù)估模型。該模型結(jié)合齊次泊松過程和Wiener退化過程，分別表征單位時間內(nèi)作用在微加速度計(jì)上的沖擊載荷次數(shù)以及器件在振動負(fù)載下的疲勞退化過程，完成了微加速度計(jì)在廣義極端沖擊、廣義δ-沖擊和廣義混合沖擊條件下的可靠度建模。對比分析了三種模型預(yù)估的可...