三維等靈敏度低耦合彈性機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化

摘要： 振動(dòng)對(duì)儀器和機(jī)床的精度都有較大影響，對(duì)其進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)和分析，是實(shí)現(xiàn)振動(dòng)有效控制的前提。本研究提出了一種高靈敏度和低耦合三維彈性機(jī)構(gòu)及其參數(shù)優(yōu)化方法。介紹了三維彈性機(jī)構(gòu)的構(gòu)型，并通過(guò)理論建模、參數(shù)優(yōu)化和仿真分析完成了三維彈性機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化，最后將該彈性機(jī)構(gòu)與高靈敏度、低耦合傳感系統(tǒng)相結(jié)合，研制了高性能三維低頻加速度計(jì)系統(tǒng)，并實(shí)測(cè)了加速度計(jì)系統(tǒng)的性能參數(shù)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，使用該彈性...