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系統(tǒng)工程方法及其在先進半導體裝備領域的應用

激光與光電子學進展 頁數(shù): 11 2022-05-10
摘要: 系統(tǒng)工程方法在國內(nèi)外以航空航天、國防科技和船舶工程等為代表的復雜設備系統(tǒng)的研發(fā)中發(fā)揮了重要作用。
針對以光刻機為代表的先進半導體裝備的研發(fā),發(fā)展和提升以正向設計引領、以系統(tǒng)工程方法為指導的自主創(chuàng)新和設計制造一體化能力顯得尤其重要。
從系統(tǒng)工程的起源著手,介紹了系統(tǒng)工程的常見方法,并以半導體裝備領域的應用為背景重點介紹了系統(tǒng)工程的工具鏈和基于模型的系統(tǒng)工程(MBSE)的部分關鍵技術。

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