系統(tǒng)工程方法及其在先進半導體裝備領域的應用

摘要： 系統(tǒng)工程方法在國內(nèi)外以航空航天、國防科技和船舶工程等為代表的復雜設備系統(tǒng)的研發(fā)中發(fā)揮了重要作用。
針對以光刻機為代表的先進半導體裝備的研發(fā)，發(fā)展和提升以正向設計引領、以系統(tǒng)工程方法為指導的自主創(chuàng)新和設計制造一體化能力顯得尤其重要。
從系統(tǒng)工程的起源著手，介紹了系統(tǒng)工程的常見方法，并以半導體裝備領域的應用為背景重點介紹了系統(tǒng)工程的工具鏈和基于模型的系統(tǒng)工程（MBSE）的部分關鍵技術。